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1、深孔内及部品空气能被吸出，清洗液能容易流入，清洗能力大幅提高。
2、清洗液中的气体被脱出后，超声波效果更好。
3、清洗液可以被加热到引火点以上，对污垢的溶解力倍增。
4、在清洗中利用高温液体给清洗部品提供均一、必要的热量为后面干燥工序。
5、在真空中溶液沸点下降蒸发速度加快，因迅速形成高真空，覆着在物体上的溶剂一举挥发。
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